大型仪器一览表
椭偏仪
文章来源： 发布时间：2011-03-23
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设备名称: | 相位调制型椭圆偏振光谱仪UVISEL ER Ellipsometer |
| 型 号: | UVISEL ER | |
| 国 别: | 法国 | |
| 厂 别: | Jobin Yvon S.A.S 公司 | |
| 到货日期: | 2003.02.15 | |
| 启用日期: | 2003.04.19 | |
| 仪器现状: | 良好 | |
| 联 系 人: | 赖宇晴 | |
| 电 话: | 0431-85262897 | |
| 电子邮件: | ylai@ciac.jl.cn | |
| 通讯地址: | 吉林省长春市人民大街5625号，130022 | |
| 安置地点: | 主楼405室 |
| 主要附件 |
| 热台THMS600(room temperature – 600 oC,温度控制为+/-0.1 oC) |
| 主要规格及技术指标 |
| 波长范围: 190-1700 nm Xe灯功率: 150W 光斑大小: 50m, 100 m, 1000 m 入射角: 70o 样品最大尺寸: 8” 数据采集速度: 每个光谱或动态点的最小测量时间为1ms, 典型的每点测量时间为100ms, 应根据具体测试要求选择 |
| 主要功能及应用范围 |
| 椭圆偏振光谱仪通过精确测量薄膜样品的椭偏参数(Ψ,Δ),经过后期数学处理、模拟和拟和，从而推导出多层结构、均匀和非均匀结构的厚度、光学常数（折射率，消光系数）、组分以及其他相关参数。主要应用在薄膜科学相关的各行业，如 （1） 半导体工业的各种薄膜和多层结构。 （2） 光电子工业的涂层 （3） 数据存储工业的磁膜 （4） 平板显示工业的 ITO薄膜和薄膜晶体管的结构 （5） 生物和化学工业的各种有机层，分子膜等 拉卡啦大煞风景 |
| 代表性工作简介 |
| 仪器操作规程 |
| 准备工作 1. 任何实验人员应在实验的前一天到实验室检查氮气、准备99.99%高纯氮气，已备第二天实验使用。 2. 实验首先检查控制器及探测器电源灯是否点亮，以确保仪器已预热开启。如仪器未开启，应及时通知仪器负责人，实验人员不允许自行开关控制器、探测器及单色器。本仪器每次重开用前，控制器需要预热2小时左右，并且软件开启始需要进行初始化，为防止出错，仪器开启必须由仪器负责人操作。 3. 检查“大型仪器记录本”，如上一用户未填写仪器状态或仪器状态为异常时，应及时反映给仪器负责人。 4. 本仪器适宜的工作温度为20-25 oC, 如室内温度不合适，应开启空调等设备进行调节。 操作程序 1. 打开N2，N2的压力控制在0.2MPa左右。打开Xe灯电源开关，按下绿色键，开启Xe灯。打开照明灯。 2. 开启测试计算机主机和屏幕，进入用户“Deltapsi2”。 3. 打开软件Deltapsi2，有两个窗口同时开启，一个是Ellipsometc Sever，一个是Jobin Yvon/Horiba. 用户只需要操作Jobin Yvon/Horiba。 4. 如果是第一次使用，应首先建立自己的Profile。先点击Software options，然后点User library，再点Create a new profile，输入自己的 Pfofile的名字，确定即可。如果自己以前已经建立了自己的Profile，每次测量以前，也应该先点击 Software options，然后在User library选择自己的Profile名字并进入。在Jobin Yvonn/Horiba的窗口的左下方，能看到Current profile:####. 5. 在Jobin Yvonn/horiba 的窗口点击图标Manual measurement，出现窗口Views。关于参数的设定:一般来讲Integration time:2OOms，High voltage:25OV,Use unit: nm，Configuration: II. M=Oo，A=+45o，Background:Background on。特别指出，如果软件为首次开启，初始波长必须设为1000nm,然后点击Start，将单色器复位，此为软件bug，必须进行。 6. 再将初始波长重新设为450nm,然后点击Start，单色器此后可以被正常初试化. 7. 将样品放在样品台上。选择光斑，在起偏器的后面有三档可供选择(50，100，1000)。 8. 调整样品台下面的螺丝，使之水平。可通过目镜观察，使两个十字架的中心重合即可。调整样品台的高度，使S0的读数接近最大。通常当光斑为1000，S0应该为几十，但视不同材料而定，如S0确实太低，应联系仪器负责人再进行其他参数修改。 9. 点击Jobin YvonA/horiba窗口中的Acq，出现窗口Create new acquisition routine, 点击 Spectroscopic，进入 Acquisition routine，可根据自己的需求，选择Spectrum ranges(可见光区为300-800nm或0.75-6eV),然后点击Run，进入Enter sample information的窗口，输入样品的名字和相关信息，点确定，仪器开始测量。所的的文件保存在Results/Acquisation data目录下. 10. 每个新点的测量都应将450nm的波长重新初始化并调节S0。 11. 关于实验数据处理，详情请参考软件说明书的第六节Modeling。 12. 实验完毕后，应立即关闭Xe灯，再关N2气和照明灯。然后关电脑显示器和主机。 13. 控制器在一般情况下不关。如果长时间不用该仪器或接到停电通知应将其关闭。 |
| 仪器管理规章制度 |
| 1. 椭偏仪为实验室公用大型设备，使用时必须严格遵守《大型设备管理制度》和 《椭偏仪操作规程》。 2. 每学期初会统一进行一次仪器操作培训及相关安全教育，参加培训的人员应认真学习《椭偏仪操作规程》及相关操作手册并接受统一的考核，考核合格后签署操作资格及责任书方可上机操作。 3. 本仪器实行每周预约制度，需要使用椭偏仪的人员应提前预约，没有上机资格的人预约之前应联系好操作人方可预约。预约时间为每周五上午 8：30一10:30，联系人:赖宇晴，电话：2897。其他时间不办理预约。 4. 本仪器实行有偿使用，具体收费标准和依据参看细则。 5. 预约时间应根据实际工作需要确定，机时繁忙时，每个课题组每周预约时间不可超过一天。如因特殊情况不能在预约时间内试验的，应提前一天向负责人反映;因不能及时反映而造成机时浪费的，预约机时照常收费，并取消其在下一周的上机资格。 6. 实验时，除经允许参加培训的人员(每次限一到两名)外，任何于实验无关的人员不得进入实验室;实验操作者不得让未获得上机资格的人员操作仪器。 7. 本仪器为精密光学仪器，必须小心操作并注意防尘、防灰。 8. 实验人员应认真仔细地观察实验现象，密切注视仪器的工作状态，如实认真地做好试验记录; 9. 实验过程中出现异常情况和解决不了的问题应及时向仪器负责人反映，并积极配合负责人了解和解决问题，不得擅自处理或者隐瞒不报，故意隐瞒不报的，将被取消一学期的上机资格，经再培训合格后方可上机;造成严重后果的，应追究其相应的责任并永远取消其上机资格。 10. 实验时不应作与实验无关的事情，禁止在实验室内大声交谈、喧哗。 11. 因违章操作造成的事故和损失，由事故责任人和所在的研究小组承担。 12. 实验完毕后，应及时将实验样品取走，将在实验过程中使用的工具规整的放回原位，保持实验台和实验室内整洁。 13. 实验完毕后必须如实认真地填写“大型仪器记录本”，如测试的样品，进行的主要操作，简要的实验结果（如可否异常）,标明实验的始末时间和仪器状态。 14. 请及时将实验数据备份带走，光盘刻录为本仪器唯一允许使用的备份方法；本计算机将每月进行一次数据清理，因没有及时备份而导致数据丢失的，责任应由数据所有人承担。 15. 任何人不得擅自更改椭偏仪系统的软、硬件设置;因实验确实需要改动的，应报经仪器负责人同意，并在指定人员的帮助下适当变更，所做的变更应记录在案备查。 16. 热台，常温试样台的装卸应由专人进行，变温实验完成后应将试样台换为常温试样台。 17. 绝对禁止擅自拔、插备种插头、电缆、计算机接口等。 18. 计算机只可用于测试和数据分析，绝对禁止将计算机用作其他用途;后期数据处理应使用分析计算机，不得占用测试计算机；禁止在计算机上使用来历不明的光盘、磁盘; 19. 鼓励实验人员之间互相帮助，互相监督，交流实验心得和体会，并及时总结实验中遇到的问题和自己的经验看法汇总到负责人处以便使大家更好的使用本仪器。 20. 本制度自发布之日起执行。 |
