光谱分析检测装备是医疗食品、环境监测、工农业生产、航天航空等领域必备的重要设备，而分光与扫描器件是光谱分析检测装备的核心关键部件。受加工工艺与器件集成方法限制，传统光谱分析检测设备中分光与扫描器件以分离器件为主，存在组件多、体积大、功耗大、装调难、成本高等问题，严重制约了小体积、低功耗、高性能光谱分析检测装备及技术的发展。 报告将围绕微小型光谱检测对新一代核心部件的技术需求，介绍基于谐振机理的MEMS微纳可调光学器件与系统研究领域的工作进展，并着重汇报MEMS集成扫描光栅微镜的加工与集成技术，及其在高性能光源、微小型光谱分析与高光谱成像等领域的潜在应用。